Der Schweizer Vakuumventilspezialist VAT Group hat kürzlich die geplante Übernahme von Atonarp Inc. mit Sitz in Japan bekannt gegeben. Der Kaufpreis beträgt rund 110 Millionen Schweizer Franken und wird vollständig in bar bezahlt, finanziert über ein neu abgeschlossenes bilaterales Darlehen. Der Abschluss der Transaktion wird für das dritte Quartal 2026 erwartet, vorbehaltlich regulatorischer Genehmigungen.
VAT Group-Aktie: Miniaturisierte Sensoren für die Chipfabrik der Zukunft
Atonarp hat eine Familie miniaturisierter Sensoren auf Basis der Massenspektrometrie entwickelt, die in Echtzeit den vollständigen chemischen Fingerabdruck innerhalb von Prozesskammern erfassen – also jenen abgedichteten Bereichen, in denen Halbleiterwafer durch chemische und physikalische Prozesse zu Chips verarbeitet werden. Die Sensoren messen dabei Ausgangssubstanzen, Nebenprodukte und Plasmaverbindungen gleichzeitig und liefern damit die Datenbasis für eine präzise Steuerung und KI-gestützte Automatisierung des Fertigungsprozesses.
Der Hintergrund für die wachsende Bedeutung solcher Sensoren: Mit der Miniaturisierung von Chips unter die Zwei-Nanometer-Grenze werden kleinste Abweichungen im Prozessablauf immer folgenreicher für die Ausbeute – also den Anteil fehlerfreier Chips je Wafer. Wer den Prozess in Echtzeit überwachen und steuern kann, verliert weniger Chips durch Fertigungsfehler.
VAT Group-Aktie: Strategische Erweiterung des Portfolios
VAT-Chef Urs Gantner bezeichnete Atonarp als idealen Partner, um die eigene Systemkompetenz in Vakuum-Subsystemen um Sensorik zu erweitern. Die Übernahme passt zur auf dem Kapitalmarkttag 2025 vorgestellten Drei-Säulen-Strategie: Kerngeschäft mit Vakuumventilen, angrenzende Produkte und Prozess-Sensorik. Atonarp und VAT werden zunächst als eigenständige Einheiten weitergeführt.
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