Hensoldt stärkt sein Engagement im Bereich Computerchips: Wie der Sensorspezialist kürzlich mitteilte, habe er zum ersten Mal die vierte Generation des Hochpräzisionsmessgeräts Final-Focus-Metrology (FFM) für die Halbleiterindustrie ausgeliefert.
Hensoldt: Ist ASML der Abnehmer?
Welcher Kunde die Technologie abnimmt, ließ Hensoldt indes offen. Nur soviel: Es handle sich um einen Hersteller von EUV-Lithographiesystemen. Da Hensoldt ein langjähriger Partner des niederländischen Lithographie-Spezialisten ASML ist, liegt dieser als möglicher Kunde nahe. Hensoldt wurde von ASML unlängst als wichtigster Zulieferer mit einem Award geehrt.
Hensoldt produziert diese Steuerungssysteme seit 2012 in Oberkochen, damals noch als Teil der Airbus-Gruppe. Mit der ersten 1µm-FFM-Einheit wurde ein Meilenstein für Hensoldt im zivilen Markt gesetzt.
Hensoldt: Das steckt hinter FFM
Zur Einordnung: Das FFM ist ein hochpräzises Messgerät, das Laser in zwei unterschiedlichen Wellenlängenbereichen analysiert. Die Wellenlängenbereiche liegen zwischen einem und zehn Mikrometern. Leistungskritische Prozessparameter des Hochenergielasers sowie Formen und Positionen von Zinntröpfchen in einer Hochvakuumkammer, die deutlich kleiner als ein menschliches Haar (< 30µm) sind, werden mit speziell entwickelten Hochgeschwindigkeits-Positionssensoren und speziell entwickelten Wellenfrontsensoren bestimmt.
Mit den Daten aus dem FFM wird der entscheidende Regelkreis in der Lithographieanlage geschlossen und die Leistung und Treffsicherheit des Laserstrahls optimiert. Dieser muss die Zinntröpfchen, die zur Erzeugung des extremen ultravioletten Lichts (EUV) zukünftig dreimal auftreffen müssen, treffen und hat damit entscheidenden Einfluss auf die Effizienz der Lichterzeugung und des gesamten Lithographiesystems.
„HENSOLDT besitzt ausgezeichnete Fähigkeiten in Sachen Infrarot-Technologie. Täglich arbeiten wir mit Wärmebild-Technologie für Weltraum-Anwendungen, die eine maßgebliche Basis für die Entwicklung der FFM darstellen“, betonte Managerin Tanya Altmann, zuständig für die Geschäftseinheit Optronics & Land Solutions.
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